中國航天科技集團 :萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器轉化應用取得新進展

據中國航天科技集團官微，中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制。

中國航天科技集團有限公司九院704所完成了萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器研制，為新一代裝備和先進工業領域實現自主可控和升級換代提供核心關鍵產品。萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器主要技術指標比傳統應變式、壓阻式、電容式等原理的壓力傳感器高1~2個數量級，且具有數字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優點，技術指標、穩定性、可靠性和環境適應性均達到先進水平。

目前，該產品已應用于航天發動機壓力監測、航空大氣數據系統等領域。后續，704所將基于核心MEMS敏感芯片和傳感器技術，進一步開發儀器和感知測量系統，形成“芯片+傳感器+儀器+系統"的信息感知模式，推進產品譜系化、規?；?、產業化發展。